爪式真空泵是為半導體工業(yè)發(fā)展而研制的,它有如下一些優(yōu)勢和特點(diǎn):1)泵腔內無(wú)潤滑劑,因而無(wú)返油現象發(fā)生;2)抽氣原件為非接觸式的可實(shí)現高速運轉(3000r/min);3)與被抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損;4)在泵腔內氣流垂直運動(dòng),少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除;5)該泵型式多樣,功能可以擴展,泵的主體,帶有齒輪、馬達以及氣體凈化設備,附件有入口處防反流的閥門(mén),出口處有截流閥,電氣監控及報警裝置;6)齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑,上端蓋內的軸承用PFPE油脂潤滑;